Rezanje, čiščenje, priprava semiša, periferno jedkanje, odstranitev PN plus spoja na zadnji strani, izdelava zgornjih in spodnjih elektrod, izdelava antirefleksnega filma, sintranje, testiranje in ocenjevanje itd. 10 korakov.
Specifična tehnologija izdelave sončnih celic
(1) Rezina: Silikonska palica je razrezana na kvadratne silikonske rezine z rezanjem z več žicami.
(2) Čiščenje: Očistite silikonsko rezino z običajno metodo čiščenja in nato odstranite 30-50um plasti poškodb zaradi rezanja na površini silicijeve rezine z raztopino kisline (ali alkalije).
(3) Izdelava semiša: Anizotropno jedkanje silicijeve rezine v alkalijski raztopini se uporablja za izdelavo semiša na površini silicijeve rezine.
(4) Difuzija fosforja: spoji PN plus nastanejo z difuzijo iz vira prevleke (tekočinski vir ali vir kosmičev trdnega fosforjevega nitrida), globina spoja pa je običajno 0.3-0.5um.
(5) Periferno jedkanje: difuzijska plast, ki nastane na površini silicijeve rezine med difuzijo, bo skrajšala zgornjo in spodnjo elektrodo baterije ter odstranila difuzijsko plast z zaščito pred mokrim ali plazemskim suhim jedkanjem.
(6) Odstranite zadnji spoj PN plus. Zadnji spoj PN plus se običajno odstrani z mokrim jedkanjem ali brušenjem.
(7) Izdelava zgornje in spodnje elektrode: z uporabo vakuumskega izhlapevanja, brezelektričnega nikljanja ali tiskanja in sintranja aluminijaste brozge. Najprej se izdela spodnja elektroda, nato pa še zgornja elektroda. Tiskanje aluminijaste brozge je široko uporabljen postopek.
(8) Izdelava protiodsevne folije: Da bi zmanjšali vhodno odbojno izgubo, je treba na površino silicijeve rezine nanesti plast protiodsevne folije. Materiali, ki se uporabljajo za izdelavo antirefleksnih premazov, so MgF2, SiO2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 itd. Metode postopka so lahko vakuumsko nanašanje, ionsko nanašanje, brizganje, tiskanje, PECVD ali brizganje.
(9) Sintranje: sintranje baterijskih čipov na nikljeve ali bakrene podlage.
(10) Preskusna razvrstitev: glede na določene parametre in specifikacije, preskusna razvrstitev.
